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產(chǎn)品中心

產(chǎn)品名稱： 等離子清洗機

描述：雅馬拓YSP63FA等離子清洗機：可進行樣品傳輸系統(tǒng)定制。可通過網(wǎng)絡(luò)進行遠程操作。

更新時間：2024-06-15
產(chǎn)品型號：YSP63FA
產(chǎn)品廠地：上海市
訪問次數(shù)：1158

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產(chǎn)品介紹

雅馬拓YSP63FA等離子清洗機產(chǎn)品特點：
可進行樣品傳輸系統(tǒng)定制。
操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。
軟性基板也可以進行傳送操作。
傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)。
可通過網(wǎng)絡(luò)進行遠程操作（選購品）。
提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
清洗各類基板。
電子部品、材料表面改質(zhì)。
更容易嵌入生產(chǎn)線使用。
可通過操作面板自由切換等離子模式。

雅馬拓YSP63FA等離子清洗機產(chǎn)品參數(shù)：

型號	YSP63FA
模式	RIE（DP模式選購）
高頻輸功率	600W
反應(yīng)臺尺寸	W385×D362mm
內(nèi)腔尺寸	W395×D378×H45mm（內(nèi)尺寸）
反應(yīng)氣體	2進氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣）
反應(yīng)氣體流量控制	質(zhì)量流量控制器
真空泵	旋轉(zhuǎn)式真空泵（約500L/min）
氣體導(dǎo)入口	反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個
外形尺寸	W1860×D1100×H1800mm

其它同類產(chǎn)品如下：
雅馬拓YSP600U等離子清洗儀器：
產(chǎn)品特點：
樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式，便于組合。
體積小，節(jié)省空間。
選用小型腔體，反應(yīng)效率高。
更容易嵌入生產(chǎn)線使用。
可通過操作面板自由切換等離子模式。
配備冷卻反應(yīng)臺。

技術(shù)參數(shù)：

型號	YSP600U	YSP2KU
模式	RIE（DP模式選購）
高頻輸功率	600W	2000W
反應(yīng)臺尺寸	W300×D300mm	W600×D600mm
反應(yīng)氣體	2進氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣）
反應(yīng)氣體流量控制	質(zhì)量流量控制器
氣體導(dǎo)入口	反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個

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